실리콘 탄화탄 트레이 ICP 에치링 MOCVD Susceptor 착용 저항

제품 설명

실리콘 탄화탄 트레이 ICP 에치링 MOCVD Susceptor 착용 저항

설명

SIC로 코팅된 그래피트 트레이는 고순도 그래피트 매트리스로 만들어지며, CVD (화학 증기 퇴적) 를 통해 SiC 코팅을 받아 예외적으로 높은 순도와 이론적 밀도를 가지고 있습니다.이 CVD SiC 코팅은 매우 단단합니다.이 코팅 트레이는 높은 진공과 고온 환경에서 탁월합니다.반도체 산업 및 다른 초정화 설정에 그들을 이상적으로 만드는주로 반도체 웨이퍼에 에피타시얼 레이어 형성을 위한 기판으로 사용되며, 초고 순수 표면과 뛰어난 마모 저항과 같은 여러 장점을 제공합니다.CVD로 최소 포로와 실리콘 카바이드의 닦을 수 있는 성격을 보장하는 SiC 코팅, 이 제품은 MOCVD 트레이, RTP 및 산화물 발각 챔버를 포함하여 반도체 산업에서 광범위한 응용을 찾습니다.실리콘 나이트라이드의 뛰어난 열 충격 저항성과 플라스마 내구성 때문에.

제품 전시회

제품 특성

1. 초고 순수성
2. 우수한 열 충격 저항성
3. 탁월한 물리적인 충격 저항성
4. 복잡한 모양에 대한 가공 능력
5. 우수한 화학 안정성
6. 산화 대기에 사용할 수 있습니다.

제품 사용

ICP 에칭:실리콘 카비드 트레이는 반도체 웨이퍼를 보관하고 처리하는 견고한 플랫폼으로 사용되는 ICP (인도성 결합 플라즈마) 에칭 시스템에서 중요한 구성 요소입니다.착용 저항성 특성 트레이는 연장 신뢰성 및 추각 과정에서 일관성을 보장, 정확한 패턴 전송과 웨이퍼의 표면 변경에 기여합니다.

MOCVD 용의자:MOCVD 시스템에서는 실리콘 카비드 트레이가 수용체로 작용하여 반도체 기판에 얇은 필름의 퇴적에 안정적인 지원을 제공합니다.높은 순수성 을 유지 하고 높은 온도 에 견딜 수 있는 트레이 의 능력 은 우수한 품질 과 균일성 을 갖춘 대각층 의 성장 을 촉진 하는 데 이상적 으로 사용 된다.

마모 저항성:SiC 코팅으로 장착된 이 트레이는 뛰어난 마모 저항성을 보여 까다로운 운영 조건에서도 연장된 사용 수명을 보장합니다.그 들 의 경직 및 화학적 분해 에 대한 저항성 은 생산성 을 높이고 중단 시간 을 최소화 한다, 그들은 높은 처리량 반도체 제조 환경에서 필수적입니다.

SIC 코팅 그래피트 트레이는 열 처리 중에 반도체 웨이퍼를 고정하고 가열하는 기본으로 사용됩니다. 에너지는 흡수되고 인덕션, 전도성 또는 방사선으로 칩을 가열 할 수 있습니다.그리고 그 열 충격 저항성, 열 전도성 및 순수성은 빠른 열 처리 (RTP) 에 필수적입니다.그리고 기본의 성능과 품질은 웨이퍼 부피층의 품질에 결정적인 영향을 미칩니다..

질문 및 답변

그래피트 감수성 물질이란 무엇인가요?

그라피트 소재로 된 수제기와 마프가열 원자로부터의 직접 열 방사선과 같은 외부 영향으로부터 sinter를 보호합니다.그들은 스스로 가열되고 일률적으로 작업 조각으로 열을 방출합니다. 지역 과열 (화열점이라고 불리는) 은 피됩니다.

SiC 코팅이란 무엇인가요?

실리콘 카바이드 코팅이란 무엇입니까?밀도가 높고 마모에 저항하는 실리콘 카바이드 (SiC) 코팅. 높은 부식 및 열 저항 특성과 뛰어난 열 전도성을 가지고 있습니다. 우리는 화학 증기 퇴적 (CVD) 과정을 사용하여 그래피트에 얇은 층으로 SiC를 적용합니다.신청서.

실리콘카비드 그래피트는 무엇일까요?

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키워드:

1. 실리콘 카바이드 트레이
2. SiC 코팅
3. CVD (화학적 증기 퇴적)
4. 고순도
5. 마모 저항성
6. 반도체 산업
7. 부피층
8. MOCVD
9. 열 충격 저항성
10. 사용자 정의 가능한 옵션