상세 정보 |
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기질: | 실리콘 웨이퍼 | 층: | AlN 템플릿 |
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층 두께: | 200-1000nm | 전도도 유형: | N/P |
정위: | 0001 | 애플리케이션: | 고전력/고주파 전자기기 |
응용 프로그램 2: | 5G 톱/BAW 장치 | 실리콘 두께: | 525um/625um/725um |
하이 라이트: | AlN 반도체 기판,30mm 직경 aln 기판,30mm aln 단결정 |
제품 설명
직경 150mm 8inch 4inch 6inch 실리콘 기반 AlN 템플릿 실리콘 기판의 500nm AlN 필름
AlN 템플릿의 응용
실리콘 기반의 반도체 기술은 한계에 도달했고 미래의 요구 사항을 충족하지 못했습니다.
전자 기기.질화알루미늄(AlN)은 3/4세대 반도체 재료의 대표적인 종류로
넓은 밴드갭, 높은 열전도도, 높은 항복장,
높은 전자 이동도 및 내식성/방사선성, 광전자 소자의 완벽한 기판,
RF(radio frequency) 소자, 고출력/고주파 전자 소자 등. 특히 AlN 기판은
UV-LED, UV 감지기, UV 레이저, 5G 고출력/고주파 RF 장치 및 5G SAW/BAW에 가장 적합한 후보
환경 보호, 전자 제품, 무선 통신, 인쇄,
생물학, 의료, 군사 및 기타 분야, 예를 들어 UV 정화/살균, UV 경화, 광촉매, coun?
위조 탐지, 고밀도 저장, 의료 광선 요법, 약물 발견, 무선 및 보안 통신,
항공우주/심우주 탐지 및 기타 분야.
우리는 일련의 독점 프로세스와 기술을 개발하여
고품질 AlN 템플릿.현재 당사의 OEM은 2-6인치 AlN을 생산할 수 있는 세계 유일의 회사입니다.
2020년에 300,000개 생산 능력을 갖춘 대규모 산업 생산 능력의 템플릿
UVC-LED, 5G 무선 통신, UV 감지기 및 센서 등의 시장 수요
우리는 현재 표준화된 10x10mm/Φ10mm/Φ15mm/Φ20mm/Φ25.4mm/Φ30mm/Φ50.8mm 고품질 질소를 고객에게 제공합니다
알루미늄 단결정 기판 제품 및 고객에게 10-20mm 비극성 제공 가능
M 평면 질화 알루미늄 단결정 기판 또는 비표준 5mm-50.8mm를 고객에게 맞춤화
연마된 질화알루미늄 단결정 기판.이 제품은 고급 기판 소재로 널리 사용됩니다.
UVC-LED 칩, UV 검출기, UV 레이저 및 각종 고출력에 사용
/고온/고주파 전자기기 분야.
알루미늄 단결정 기판 제품 및 고객에게 10-20mm 비극성 제공 가능
M 평면 질화 알루미늄 단결정 기판 또는 비표준 5mm-50.8mm를 고객에게 맞춤화
연마된 질화알루미늄 단결정 기판.이 제품은 고급 기판 소재로 널리 사용됩니다.
UVC-LED 칩, UV 검출기, UV 레이저 및 각종 고출력에 사용
/고온/고주파 전자기기 분야.
사양
특성 사양
- 모델UTI-AlN-030B-단결정
- 직경 Dia30±0.5mm;
- 기판 두께(μm) 400± 50
- 정위C-축 [0001] +/- 0.5°
품질등급 S등급(슈퍼) P등급(생산) R등급(연구)
- 균열없음 없음 <3mm
- FWHM-2θXRD@(0002) <150<300 <500
- FWHM-HRXRD@(10-12) <100<200 <400
- 표면 거칠기 [5×5µm] (nm)Al-면 <0.5nm;N면(뒷면) <1.2um;
- 사용 가능 영역 90%
- 흡광도 <50; <70; <100;
- 길이 방향 {10-10} ±5°의 1st;
- TTV(μm)≤30
- 활(μm)≤30
- 뒤틀림(μm)-30~30
- 참고: 이러한 특성화 결과는 사용된 장비 및/또는 소프트웨어에 따라 약간 다를 수 있습니다.
불순물 원소 CO Si B Na WPS Ti Fe
PPMW27 90 5.4 0.92 0.23 <0.1 <0.1 <0.5 0.46 <0.5
결정 구조 |
우르츠광 |
격자 상수(Å) | a=3.112, c=4.982 |
전도대 유형 | 직접 밴드갭 |
밀도(g/cm3) | 3.23 |
표면 미세경도(누프 테스트) | 800 |
녹는점(℃) | 2750(N2에서 10-100바) |
열전도율(W/m·K) | 320 |
밴드 갭 에너지(eV) | 6.28 |
전자 이동도(V·s/cm2) | 1100 |
전기 파괴 필드 (MV/cm) | 11.7 |
이 제품에 대한 자세한 내용을 알고 싶습니다